據報道，日前，牛津儀器（Oxford Instruments Plasma Technology ，簡稱 “OIPT”）宣布與臺灣工業技術研究院（Taiwan’s Industrial Technology Research Institute，簡稱 “ITRI”）達成合作。牛津儀器將提供包含刻蝕與沉積的PlasmaPro100多種等離子體刻蝕系統，助力臺工研院的Micro LED研發項目。
據悉，PlasmaPro100工藝解決方案是專為支持激光、射頻、功率以及先進發光二極管等尖端器件應用設計的。
臺工研院自2009年起開始開發Micro LED技術，于2018年和聚積、欣興電子、錼創展開合作。在臺北國際電腦展上，工研院展出了一個Micro LED模塊。此外，該工研院也在研發用于AR應用的Micro LED技術。
工研院電子與光電系統研究實驗室（Electronics and Optoelectronics System Research Laboratories ）部門副主任Dr Fang評論表示，工研院與牛津儀器達成緊密合作并不僅僅是因為牛津儀器擁有前沿的技術。除此之外，研究院做出采購決策還有一些關鍵因素，包括牛津儀器的應用解決方案、本土工藝支持以及其與產業合作伙伴共同將實驗室發展成為生產標準的能力。
牛津儀器戰略市場營銷經理Robert Gunn表示，牛津儀器很高興選擇了工研院作為合作伙伴，通過工研院的Micro LED研發項目（類似于三星The Wall所用的Micro LED）共同進入LED下一個激動人心的發展階段。
據介紹，許多研究機構及初創公司采用了牛津儀器的工藝解決方案，工研院成為了其中的最新一員。
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